歐姆龍成功事例 | 研磨機wafer預載位的高精度檢測方案

應用介紹

【行業】SEMI

【設備】wafer grinding 研磨機

【用途】線切割后的晶圓磨削

應用場景

研磨機wafer預載位的有無檢測確認。

場景： 清洗槽/干燥槽內檢測Cassette的有無

解決課題

1、不同工序時wafer襯底的粗糙度較大，尤其是拋光后的wafer作為鏡面體產生的正反光非常容易影響傳感器的檢測。

2、需要300~500mm的遠距離穩定檢測，方便機械手吸取wafer。

3、需要對透明wafer襯底進行檢測。

價值提案

核心產品：光電傳感器 E3AS-HL500L

●透鏡自動校準配備高精度CMOS，穩定檢測各種材質wafer。

●擁有優異的角度特性，在遠距離檢測時能針對線切割后的wafer的粗糙面進行穩定檢測。

●需要檢測透明wafer時，可通過示教輕松設定高靈敏度背景。

相關產品

光電傳感器 E3AS-HL

https://www.fa.omron.com.cn/products/family/3779/

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