LCI換新顏 | Gocator 5500系列 - 半導體行業(yè)檢測方案的最佳選擇

LCI更新?lián)Q代

Gocator? 5500系列3D智能線共焦傳感器

顏值和功能完美融合

內(nèi)置全新的測量和檢測軟件，界面友好

亞微米級別精度

高速、高分辨率，雙軸光學設(shè)計

檢測不同材質(zhì)

同時掃描多層、透明/半透明、曲面邊緣等表面

讓我們來聽聽LMI專家怎么說??

LMI Technologies打造全球尖端技術(shù)

從鏡面到漫反射材質(zhì)

從透明到半透明材質(zhì)

為消費電子，半導體制造等行業(yè)

提供一站式3D在線掃描和檢測方案

BGA引腳高度及半徑檢測方案

項目背景

隨著芯片技術(shù)的迭代，芯片產(chǎn)品的尺寸越做越小，引腳數(shù)量在不斷增加，對芯片檢測提出更高要求，傳統(tǒng)的人工檢測和普通的視覺檢測方式常常無法滿足生產(chǎn)需求，采用Gocator 3D智能線共焦傳感器對BGA引腳高度和半徑以及偏移、漏焊檢測具有重要意義。

檢測需求

測量芯片上引腳到基準面的高度和引腳的半徑。

測試方案

由于樣品高度變化范圍較小，使用更窄的Z向景深來獲取更高的頻率，并且設(shè)置更短的觸發(fā)間隔，實現(xiàn)更高的掃描速率。由于引腳數(shù)量較多，我們選一排針腳通過內(nèi)置算法進行高度和半徑測量，并進行多次重復(fù)性測試，確保穩(wěn)定的檢測結(jié)果。通過Gocator 3D線共焦傳感器搭載亞微米級的3D檢測平臺，可以滿足檢測需求。

產(chǎn)品選型

Gocator 5504 3D智能線共焦傳感器

檢測結(jié)果

Gocator 5504 3D智能線共焦傳感器清晰掃描BGA引腳，獲取引腳高度和半徑點云信息，重復(fù)性在 0.5微米以內(nèi)。

解決方案優(yōu)勢

Gocator? 5500系列3D線共焦傳感器掃描頻率高、觸發(fā)時間短，可實現(xiàn)最高達16KHz的超快掃描速率，兼容不同尺寸的BGA，并生成高質(zhì)量的掃描圖，成像效果非常好，并且具有極高的重復(fù)性和穩(wěn)定性。Gocator內(nèi)置的軟件可實時對掃描結(jié)果進行較平、剖面和引腳輪廓提取等處理，并對高度和球徑等參數(shù)進行計算，及時規(guī)避因偏移和漏焊導致的缺陷發(fā)生。

更多Gocator在半導體行業(yè)的應(yīng)用

Gocator 3D線共焦技術(shù)提供了一種非接觸式、高性能并且可擴展的一站式解決方案，可用于半導體材料、元器件和裝配過程中的精準3D測量&檢測。更多應(yīng)用包括但不僅限于：

    *有圖案晶圓的大范圍檢測

    *多基板缺陷檢測和測量

    *大型和不規(guī)則形狀基材的高通量缺陷檢測

    *無圖案晶圓平面度測量

    *晶圓翹曲&弓形檢測

    *晶圓邊緣幾何尺寸測量和缺陷檢測

    *整體和局部晶圓形貌測量

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關(guān)于 LMI Technologies

作為3D掃描和在線檢測的全球領(lǐng)導者，LMI Technologies 致力于為各個行業(yè)不同的用戶開發(fā)快速、準確且可信賴的3D智能檢測技術(shù)，獲殊榮的LMI公司的FactorySmart? 激光、快照和線共焦傳感器幫助客戶提高生產(chǎn)效率和生產(chǎn)質(zhì)量。和接觸式測量方式或者2D視覺系統(tǒng)不同，我們的產(chǎn)品大大消除復(fù)雜性和有效降低實施成本。

如需了解更多關(guān)于LMI Technologies檢測解決方案，聯(lián)系我們mkt_china@lmi3d.com或訪問www.lmi3d.com探討智能3D技術(shù)的可能性。

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