TELEDYNE DALSA MEMS應用－微鏡

• 關鍵詞：Teledyne,DALSA,微鏡
• 摘要：在制造高性能的靜電微鏡方面，Teledyne DALSA擁有無與倫比的經驗。 微鏡器件已經廣泛應用于電信系統中的VOA或WSS功能，以及在微型投影儀的激光束轉向應用。

MEMS應用

從手機的RF芯片，通訊光交叉連接到游戲控制器的陀螺儀，汽車壓力傳感器和用于汽車的慣性傳感器到小型化的醫療系統用的微流體器件，Teledyne DALSA都已經量產，并且為這些創新的MEMS應用提高性能的同時降低尺寸和功耗。聯系我們，討論MEMS制造的挑戰 Contact us today to discuss your MEMS fabrication challenges.

MEMS應用： 壓力傳感器　　運動傳感器　　BioMEMS　　微鏡　　硅通孔　　射頻MEMS

微鏡

>>光學MEMS，應用于電信或者其他更多領域

微鏡制造

在制造高性能的靜電微鏡方面，Teledyne DALSA擁有無與倫比的經驗。 微鏡器件已經廣泛應用于電信系統中的VOA或WSS功能，以及在微型投影儀的激光束轉向應用。微鏡的制造中的關鍵技術，包括SOI設備層轉移和體微機械加工，其中為確保一致的鏡偏轉，極其嚴密的單晶硅層控制是必要的，當然，高品質的鏡面金屬沉積也是關鍵。此外因為反射鏡面上單獨一顆粒子的存在就可降低微鏡的光學品質，污染來源也是被嚴格控制的。我們已經開發了電子光學測試程序，確保每片晶圓（或者每個器件，如果需要）符合產品規格。

微鏡驅動